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产品类别

流量计/流量控制器

 

气体层流质量流量计/流量控制器

  基于压力式的层流压差技术,不受气体流场状态的影响,精确的压力、温度补偿,保障了测量的精度和控制的稳定性。

 各项性能表现优异。



产品特点:

◎ 产品无需预热,快速响应;

◎ 可达1000:1的量程比;

◎ 产品精度高达±0.5%~1%读数精度;

◎ 重复精度高达±0.1%~0.2%满量程;

低的零点、温度、压力漂移量;



产品参数:

参数

流量计(MFM)

流量控制器(MFC)

流量范围1

0.1 SCCM ~ 5000 SLPM

0.1 SCCM ~ 500 SLPM

读数精度2

±0.5% s.p .±1.0 % s.p.

重复性

±0.2 % FS

响应时间

< 20 ms < 100 ms

< 500 ms

量程比

超过 1000:1

适用气体种类

内置43种气体和混气测量

温度漂移量

< ±0.01 % FS /

压力漂移量

< ±0.02 % FS /atm

零点漂移量

< ±0.06 % FS /

适应温度范围

-20~60 -50~115

适应压力范围

1.0 Mpa   2.0 Mpa  

满量程压损

400Pa ~ 2KPa

热机时间

无需预热

输出方式

4~20mA0-5VRS485

1 订货时,需在此流量范围内选择实际需要的使用量程;

2 在量程范围的10%~100%内可保证精度。