产品展示

SFM/SFC5400系列流量计

 

SFM/SFC5400系列质量流量计/控制器

技术规格:

▶ 超快响应和稳定时间(最快50毫秒)

▶ 优良的精度/重复性(分别为测量读数的0.8%/0.1%)

▶ 很宽的动态范围 (量程比可达1000:1)

▶ 多种数据接口可供选择:RS485, DeviceNet, IO-Link和模拟电压/电流

▶ 多种机械连接可供选择:Swagelok, VCR, VCO, Legris, C-Seal, W-Seal

▶ 实标的多种气体和气体识别

▶ 美国国家标准及技术研究所的可追溯校准

▶ MTBF169年-无需再校准


应用领域:
SFC5400/SFM5400产品的优异性能使其成为分析仪器、涂层/蚀刻设备、医疗设备和过程自动化等广泛应用的最佳选择。


仪表参数:

参数单位
流量范围  0.05, 0.1, 0.2,  0.5, 1, 2, 5, 1020, 50, 100, (200 ) ln/min or slm
精度 0.81% s.p.
两者以较大者为准  0.080.1% FS
重复性  0.10.2% s.p.
两者以较大者为准  0.010.02% FS
稳定时间典型值 100  (50 for optimized OEM versions )ms
取样频率  1000Hz
量程比 超过  1000:1
标准标定气体  Air/N2, H2, O2, He, Ar, CO2
用气体转换标定的气体 标准:  SF6, C4F8
OEM版,可根据要求与其他气体或混合物
工作温度(环境和气体)  0 –  50 / 32 – 122°C / °F
Temp. coeff. zero  0.005% FS / °C
Temp. coeff. span  0.06% s.p. / °C
全量程压降:SFC5400  < 2.0 / 29< 3.0 / 43bar /  psig
全量程压降:SFM5400  < 0.1 / 1.5< 0.2 / 3
输入最大压力 10 /  145bar / psig
最大差压 5 / 734 / 58bar / psig
MFC外部泄漏  9 x 10-99 x 10-6mbar l/s He
电磁阀泄露量  1 x  10-6mbar l/s He
热机时间 1sec

① 精度会降低;

② 包括偏移、非线性和迟滞。根据NIST可追踪基准测量;

③ 读数%=测量点精度=流量=读数;

④ 设定点5%精度内流量从10%到100%的响应时间,具有模拟接口的质量流量控制器由于模拟电路延迟(通常由因子2)而需要较长的稳定时间;

⑤ 50个最小年用量;

⑥ 参数只适用于质量流量控制器。具有模拟接口的设备的性能取决于布线质量,通常不超过500:1;

⑦ 气体转换是利用标准气体的组合从实际的气体校准数据中产生的。典型的准确度为2%M.V。/0.2%FS(以较大者为准)。

⑧ 进气道与周围环境的压力差;

⑨ 进气口和出口之间的压差。

⑩ 读数稳定到设定点的2%精度内的时间。