参数

条件

最小

典型的

最大

单位

流量传感器

动态范围1

直接测量

-400

400

Sccm  2

客户特定的旁路

无限的

无限的

分辨率3

400  sccm flow / 640 ms

0.1

sccm

最低可测流量

<  10 sccm flow / 640 ms

0.0143  (1/70)

sccm

压降

400  sccm, pabs = 1 bar

120

Pa 4

重复性

0.0025  % FS5

0.025  % m.v.

精度6

23°C

0…5  % of full scale

0.05  % FS

5…100  % of full scale

1 %  m.v.

偏移精度

23°C

<  0.005

<  0.02

% FS

超压电阻7

1

1.5

bar

响应时间

取决于分辨率设置

5

640

ms

操作温度

0

70

°C

环境温度系数

零点

<  0.0008

<  0.002

% FS  / °C

范围

<  0.03

<  0.08

%  measured value/ °C

灵敏性

pabs=1  bar, 小流量

±0.004

% FS