产品特点：
● 快速响应和稳定时间（可达50毫秒）
● 优良的精度/重复性(分别为测量读数的0.8%/0.1%)
● 很宽的动态范围 (量程比可达1000：1)
● 多种数据接口可供选择：RS 485，DeviceNet，IO-Link和模拟电压/电流
● 多种机械连接可供选择：下装，Swagelok，VCR，VCO，Legris，C-Seal，W-Seal
● 实标的多种气体和气体识别
SFC5400/SFM5400质量流量控制器/流量计性能参数
参数 | 值 | 单位 | |
流量范围 | 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10 | 20, 50, 100, (2001) | ln/min or slm |
精度2 | 0.8 | 1 | % s.p.3 |
0.08 | 0.1 | % FS | |
重复性 | 0.1 | 0.2 | % s.p. |
0.01 | 0.02 | % FS | |
稳定时间典型值4 | 100 (50 for optimized OEM versions 5) | ms | |
取样频率 | 1000 | Hz | |
量程比6 | 超过 1000:1 | ||
标准标定气体 | Air/N2, H2, O2, He, Ar, CO2 | ||
用气体转换标定的气体7 | 标准: SF6, C4F8 | ||
工作温度(环境和气体) | 0 – 50 / 32 – 122 | °C / °F | |
Temp. coeff. zero | 0.005 | % FS / °C | |
Temp. coeff. span | 0.06 | % s.p. / °C | |
全量程压降 |
|
| bar / psig |
输入最大压力8 | 10 / 145 | bar / psig | |
最大差压9 | 5 / 73 | 4 / 58 | bar / psig |
MFC外部泄漏 | 9 x 10-9 | 9 x 10-6 | mbar l/s He |
电磁阀泄露量 | 1 x 10-6 | mbar l/s He | |
热机时间10 | 1 | sec | |
1 精度会降低；
2 包括偏移、非线性和迟滞。根据NIST可追踪基准测量；
3 读数%=测量点精度=流量=读数；
4 设定点5%精度内流量从10%到100%的响应时间，具有模拟接口的质量流量控制器由于模拟电路延迟(通常由因子2)而需要较长的稳定时间；
5 50个最小年用量；
6 参数只适用于质量流量控制器。具有模拟接口的设备的性能取决于布线质量，通常不超过500：1；
7 气体转换是利用标准气体的组合从实际的气体校准数据中产生的。典型的准确度为2%M.V。/0.2%FS(以较大者为准)。如果您的OEM项目需要更高的精度规格，请与Sensirion联系；
8 进气道与周围环境的压力差；
9 进气口和出口之间的压差。要获得更高的压差选项，请联系Sensirion；
10 读数稳定到设定点的2%精度内的时间。
SFC5400/SFM5400订购代码的详细说明
例如: SFC5400 LAG N2 500 mln/min
代码结构: 产品型号XAZ 气体 范围 单位 (见下表)
参数 | 值 | 描述 | 文档查找地方 |
产品型号 | SFC5400 | 质量流量控制器 | |
X –电气通讯 | U | 模拟电压 0-5 VDC | 第三部分 |
A – 本体材料 | A | Aluminum (steel on request for OEM volumes) | 表二 |
Z – 连接 | 5 | Swagelok 6mm | 第四部分 |
气体 | Air/N2, H2, O2, He, Ar, CO2, SF6, C4F8 | 表1 | |
流量范围 | 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50, 100 slm | 表1 | |
单位 | mln/min | 标准毫升/分钟 | 表7 |
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沪公网安备31011702890168